配合自主设计的末端拾取器,可实现 300mm 及以下各种材质和厚度晶圆的可靠传输。 ・ 适用于 300mm 及以下尺寸晶圆传输 ・ 可实现末端自由轨迹和斜插功能 ・ 完全自主知识产权,可客制化订制
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|Beijing|Software|Edificio 12, Yard 109, Jinghai 3rd Road, Zona de Desarrollo Económico y Tecnológico de Beijing, Beijing
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