2025年，在全球半导体产业加速重构的背景下，中国半导体装备国产化迎来关键突破窗口，自主可控已成为保障产业链安全的战略要地。在此契机下，3月26日，SRT旗下微法尔（WFR）以“半导体智造传输系统匠心承启者”的身份，携晶圆传输系统全栈解决方案强势登陆上海新国际博览中心T0馆T0222展位。

此次展出的产品矩阵涵盖手臂精度测试平台，晶圆传输设备和Robot、Loadport、Aligner三类核心部件，以及晶圆传输系统核心部件展示平台。以±0.02mm重复定位精度为标杆，向全球展示中国半导体装备的硬核技术实力，标志着国产高端设备在“微米级精度时代”再攀新高。

展台中央的“手臂精度展示平台”成为全场焦点。RB100系列双臂晶圆搬运机械手，达到±0.02mm重复定位精度，这一数据不仅远超行业平均水平，更通过末端拾取器的自主设计，实现了对300mm以下不同材质、厚度晶圆的全适配能力。 

同时，该系列涵盖单臂、双臂、末端翻转及防水等多种机型，为半导体制造提供全方位的晶圆传输解决方案。

微法尔此次发布的AEW6000系列EFEM与ASW6000系列Sorter，直观诠释了国产化晶圆自动传输与批次分选的高精准作业标准。

两者同时兼容SEMI标准FOUP、FOSB、OpenCassette及SMIF Pod等多种装载单元，并支持混合配置模式；可选配双面读码与晶圆翻转功能，直面高精度传输与复杂工艺场景的挑战；微环境保持系统确保高速传输下的稳定性，为产能爬坡提供“无感升级”方案。

微法尔本次展出的晶圆传输系统核心部件展示平台，精选自70余型号晶圆搬运机械手家族中的核心产品。该平台通过实机演示升降取放片、180°翻转及寻边矫正等关键动作，完整呈现了6″~12″的晶圆或玻璃圆片传输全流程的精准控制能力，为现场观众提供直观的技术体验。

作为新入局者，微法尔深谙行业对国产设备的期待与疑虑。依托SRT集团在软体机器人、机器视觉等领域的跨学科技术融合，微法尔组建了一支专业半导体设备研发团队（平均从业年限15年+），为客户提供：

作为SRT“全球创新链”战略的核心一环，微法尔将持续深耕半导体高端装备领域，通过精度革命、生态重构、国产替代三大技术路线，推动中国半导体产业从“跟跑”到“领跑”的跨越式发展。诚邀业界同仁莅临T0馆T0222展位，共探技术前沿，共绘智造蓝图！