Load Port

Descripción del Producto

For the wafer load processing elements for various equipment in semiconductor production process.

Parámetro de rendimiento

Equipment model
• LP100 series

Product features
• Standard support for FOUP and automatic door FOSB
• Unique door opening mechanism and precise motion
control can achieve high cleaning performance

Technical specifi cation and parameter
• Power supply: DC 24V±10% 6A
• Compressed air: above 0.5MPa~ 0.6MPa 10L/min
• Vacuum air: above -60kPa ~ -80kPa 10L/min
• N2：-

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Línea directa de consulta: 0086+400-186-7770

Negociación comercial: srt@softrobottech.com

｜Beijing｜Software｜Edificio 12, Yard 109, Jinghai 3rd Road, Zona de Desarrollo Económico y Tecnológico de Beijing, Beijing

｜Suzhou｜Software｜P5, Torre A, Parque Industrial Tianrui, Carretera Chenfeng, No. 1528, Pueblo de Yangshe, Ciudad de Zhangjiagang

｜Suzhou｜Inteligente｜Edificio n.° 5, Parque de innovación científica y tecnológica de St. Paul, n.° 1919, Fengyang Road, pueblo de Weitang, distrito de Xiangcheng, ciudad de Suzhou

｜Hangzhou｜Software｜5A-4, Building 7, No. 11, Jugong Road, Xixing Street, Binjiang District, Hangzhou City, Zhejiang Province

｜Suzhou｜Bokeshi｜Edificio Gaorong, tren de alta velocidad New Town, distrito de Xiangcheng, ciudad de Suzhou, provincia de Jiangsu

｜Hefei｜Sairuitan｜Edificio shui anchuanggu, no. 1288 ziyun road, zona de desarrollo económico y tecnológico, hefei, anhui

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