型号

RB100ASA3-185-300-V01-DNN

机械手臂类型

单臂（带翻转）

被搬运物

≤ 300mm

晶圆吸附方式

真空吸附式、伯努利式、夹持式、复合式

机械结构格式

水平多关节

控制轴

4

控制器

ECB100S-4

电机类型

AC 伺服电机

可动范围

中心到达距离

旋转角度θ轴

升降Z轴

691.5mm

340°

300mm

搬运平均速度

R 轴

θ 轴

Z 轴

850mm/s

205°/s

330mm/s

搬运最大速度

R 轴

θ 轴

Z 轴

2200mm/s

270°/s

650mm/s

重复性精度

±0.06mm 以内

控制通讯方式

RS232/RS485/TCP/IP

洁净度

ISO 标准 Class1( 驱动结构内部独立排气条件下 )

厂务

电源 AC220V 5A，真空 优于 -53Kpa

重量

≈ 32Kg