FK100V

产品描述

晶圆 FORK（又称牙叉、晶圆拾取器等）是安装在晶圆机械手末端用来取放晶圆的执行器。具有高洁净度、高平面度和重量轻等特点，一般由氧化铝陶瓷、不锈钢、铝合金等材质构成。微法尔团队具备丰富的 FORK 设计经验，产品执行原理涵盖了真空吸附、伯努利吸附、机械夹持、范德华力等多种方式。在实际应用中对以上几种原理进行设计整合，对于大翘曲、非接触、微接触等要求可提供订制解决方案。

性能参数

产品参数

型号	FK100V
晶圆拾取方式	真空吸附
晶圆尺寸	4"～12" 可订制
晶圆接触等级	多点接触
适用晶圆类型	无翘曲各类型晶圆
材质	氧化铝陶瓷、高硬度合金铝、碳钎维等 ( 支持材质订制 )
接触面材质	Anti-static Teflon
供气压力	≤ -70Kpa
晶圆在位检测	支持
非标订制	支持

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FK100V

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