新品发布|SRT旗下微法尔携国产自研晶圆核心部件参展CSEAC 2024


2024年,新质生产力热潮涌动。SRT作为一家以软体机器人技术为基础,以研发为导向的综合性创新企业,正在以加快构建多领域场景应用体系向“新”而行。如果说,9月24日开展的上海·工博会是SRT与全球工业人共商新质大未来的主会场,那在无锡开展的第十二届半导体设备与核心部件展示会(以下简称CSEAC 2024)就是SRT的分会场。


9月25日,SRT旗下微法尔(WFR)携国产自研晶圆传输核心部件展示平台亮相CSEAC 2024,以一场创新自研的持续革新,续写起半导体国产设备的“进化论”,吸引了业界内外的广泛关注。此次参展,除全面展示在半导体设备制造领域的最新科技成果外,微法尔(WFR)还发布了两款颠覆性新品,为半导体产业链的升级与发展增添了全新选择


近年来,半导体设备国产化进程正处在全面提速阶段,CSEAC作为我国半导体行业专注「设备与核心部件」领域的展示会,汇聚了国内外知名企业,为众多半导体设备/部件企业展示新产品、新发展景象提供良好的交流平台。


微法尔(WFR)是SRT旗下子公司,也是半导体领域智能制造的新生代企业,拥有大量从业经验10年以上的技术团队,并以“半导体行业制程设备专业制造商”的角色定位,致力于高端进口设备的国产化替代,用技术创新解决“卡脖子”难题,在赢得良好客户口碑的同时,也展现出专业的技术优势


此次参展,微法尔(WFR)以5大半导体自主研发“全国产晶圆传输核心部件展示平台”搭建沟通桥梁,一方面,以技术赋能重塑客户体验,为广大客户带来突破行业边限的全新产品;另一方面,微法尔(WER)希望与各地设备制造商、技术研发机构及行业精英,共同探讨半导体技术的未来趋势与合作机遇,合力推动中国半导体产业的技术交流与产业升级。



在本次展会上,微法尔(WFR)全新推出手臂精度展示平台和单臂双叉SCARA晶圆机械手展示平台。晶圆搬运机械手是微法尔(WFR)为半导体行业晶圆传输开发的专用机械手,具备完全自主的知识产权,产品已通过SEMI S2认证。值得一提的是,晶圆搬运机械手重复性精度高达±15μm,远超行业平均水平。配合微法尔(WFR)自主设计的末端拾取器,可实现300mm及以下各种材质和厚度晶圆的可靠传输


两款新品的成功发布标志着微法尔(WFR)“产品图谱”再度扩员,在专注高端进口设备国产化替代的道路上,微法尔(WFR)通过高密度的研发投入和持续的寻求合作,打破产业链技术壁垒,赋能客户价值。微法尔(WFR)一直将研发作为发展的核心驱动力,截至目前,自研产品已涵盖晶圆输出相关的LaodPort、Robot、Aligner、Sorter、EFEM和后道工艺相关的滚轮贴膜、真空贴膜(含Taiko)、超薄晶圆揭膜(含Taiko)、UV解胶、裂片等工艺设备。


同时,在本次展会上,微法尔(WFR)还展出了EFEM AEW6000系列、Sorter ASW6000系列和晶圆传输系统核心部件展示平台,向广大业界同仁传递着半导体产业发展新阶段的国产力量。

SRT是一家服务全球的科技集团,拥有完备的软体机器人产学研全链条关键技术、机器视觉AI技术、基于自动化和物联网技术的智慧物流仓储系统、半导体相关工艺技术、结合软体气动肌肉及康复医学理论康复系统等。随着CSEAC 2024的深入进行,众多参观者与潜在合作伙伴纷纷表现出浓厚的兴趣与合作意愿。依托SRT提供的强大资源优势及多领域协同能力,微法尔(WFR)希望以此为契机,与广大业界人士聚力同行,共同推动国内半导体产业链的加速崛起。与此同时,公司将继续深挖市场需求空间,提升在半导体领域的业务规模和竞争力,为新质生产力发展提供源源不断的创新动力。


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【开展日期】

9月25日-27日

咨询热线: 400-186-7770

商务洽谈: srt@softrobottech.com

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