8月31日-9月2日，第十四届半导体设备材料及核心部件展（CSEAC 2026）在无锡太湖国际博览中心如期举行。
SRT旗下微法尔（WFR）亮相CSEAC 2026 A3馆-210展位。
本次参展，SRT旗下微法尔（WFR）亮相A3馆-210展位，深耕国产化替代，重点展出晶圆传输系统及核心部件，并为高端精密制造领域带来可靠的动力输出和驱动方案。
行业客户莅临微法尔（WFR）展位沟通交流
微法尔（WFR）是SRT在半导体装备领域的重要业务布局，为半导体行业客户提供成熟的晶圆传输系统解决方案。
核心设备展出，引行业人士咨询。
RB100V真空机械手
专为晶圆自动传输设计
本次展出的Robot RB100V真空机械手为真空环境下的晶圆搬运设计，真空度5E-8torr，可实现高真空、高洁净度环境中300mm及以下晶圆的稳定可靠搬运。
Robot RB100V真空机械手。
ASW6000系列Sorter
晶圆批次分选与传输管理
ASW6000系列Sorter，具备完全自主知识产权，适用于产线晶圆批次分选与传输管理。
依托Robot（机械手）、LoadPort（自动装载单元）、Aligner（巡边校准器）、Fork（拾取器）等核心部件的自主化技术，微法尔（WFR）具备了多场景兼容的独特优势，可实现稳定的Class 1级洁净环境。
机械手正在演示晶圆与LoadPort间的搬运过程。
除以上外，公司开发的超薄晶圆揭膜、裂片等关键工艺设备，具备高度模块化设计与工艺适配能力，为客户提供了更具性价比的国产化选择。
作为晶圆传输系统、后道封装设备的核心驱动部件，伺服电机的定位精度和运行稳定性直接决定着整个半导体设备的作业良率与效率，因此，在参展期间，微法尔（WFR）为逛展客户带来了多款伺服电机产品，方便客户按实际设备需求灵活选型匹配。
伺服电机转为半导体场景设计，IP67防护等级满足洁净室防尘防潮要求，3000r/min稳定转速配合低波动扭矩，可满足±0.02mm级重复定位精度需求。作为国产自主可控产品，提供周期较近口品牌缩短60%以上，同时兼容主流工业总线协议，无需改造产线即可替换升级。整体结构紧凑适配狭小空间，F级绝缘与全封闭设计支持24小时不间断运行，功率覆盖0.1kW至0.75kW，从轻载定位到中载搬运均可应对。
同时，展台汇集了MT-FA光纤跳线产品，具备低插损、耐高温、即插即用等特点。
伺服电机、MT-FA光纤跳线等产品正在A3-210展位展示中
在CSEAC 2026参展现场，众多参观者与潜在合作伙伴纷纷表现出浓厚的兴趣。微法尔（WFR）希望借此契机，与广大业界人士聚力同行，持续推进半导体传输设备的自主研发与工程化应用。再次诚邀各位业界同仁莅临A3馆-210展位参观指导，交流合作。