LP160S

产品描述

LP160 系列 LoadPort 装载单元是为半导体自动化设备晶圆装载设计的专用设备，面向半导体生产制程中各类设备的晶圆上下料处理单元，产品已通过 SEMI S2 认证，分为三个产品系列，可应对 Semi 标准的 Foup、Fosb、Smif 料盒和用于先进封装洁净型 FrameFoup。

性能参数

• 具备扫片和凸片、叠片、错槽检查功能

• 触控操作简洁方便

• 产品符合 SEMI S2 规范

产品参数

型号	LP160S
晶圆规格	8"
Carrier 类型	8" SMIF Cassette
尺寸	470X425X1270mm (WxDxH)
洁净度	Class 1@0.1um
操作时间	With mapping
	FOUP Open:18sec
	FOUP Close:10sec
开盖方式	下开盖
通讯	RS232/RS485/ 网口
选配组件	RFID TI134kHz
选配组件	自动物料搬运系统通讯接口（E84）
电源	DC24V 2A
负压	-50～-80Kpa
正压	0.6～ -0.7Mpa
重量	70Kg

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